资产名称：等离子体刻蚀机（旧）

规格型号：9600

工艺类别： 刻蚀

所属单位： 加工平台

管理员： 俞挺

用途：用化学干法刻蚀较铝金属及其他金属。一次可刻蚀6寸片/4寸片/3寸片一片或2寸片4片。刻蚀均匀性<±5%,单片预约最少15分钟。本设备每周三开放使用，其它时间使用，需附加开机费1000元

主要技术指标：本底真空：0.3MT， 工作真空：10mt ， 温度：60度。 反应气体：CL2,BCL3,N2