SN201412009 气体管路系统

气体管路系统

编号: SN201412009

工艺类别: 镀膜

所属单位: 加工平台

管理员: 刘彬

状态: 正常

价格:

单位预约时间:

用途

提供镀膜设备PECVD多路气体,控制气体流量。

主要技术指标

质量流量计量程0~3000sccm不等,依气体而异。

 

 


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