光刻显影机（旧）

编号：SVG8800（SN201012322）

工艺类别：涂胶、显影

所属单位： 加工平台

管理员：王德稳

状态： 正常

价格：240元/小时

单位预约时间：2(单位:小时)

用途

通过机械臂传动方式，进行25片一批次的自动涂胶工艺，具备旋涂去边和烘烤功能。主要特点：1.自动取片2.根据用户要求设定不同阶梯的旋转速度3.可以设定去边功能4.热板的温控精确。

主要技术指标

晶圆尺寸：6inch

最大样品厚度：200-1000um

旋涂均匀性:3000转以上整片均匀性的3%

热板温度区间：23-250度

显影：转速100-6000r显影剂in雾化旋转