SN201012322 光刻显影机(旧)

光刻显影机(旧)

编号: SVG8800 SN201012322

工艺类别:涂胶、显影

所属单位: 加工平台

管理员: 王德稳

状态: 正常

价格: 240/小时

单位预约时间: 2(单位:小时)

用途

通过机械臂传动方式,进行25片一批次的自动涂胶工艺,具备旋涂去边和烘烤功能。主要特点: 1.自动取片2.根据用户要求设定不同阶梯的旋转速度3.可以设定去边功能 4.热板的温控精确。

主要技术指标

晶圆尺寸:6inch

最大样品厚度:200-1000um

旋涂均匀性:3000转以上整片均匀性的3%

热板温度区间:23-250

显影:转速100-6000r显影剂 in雾化旋转

 

 

 


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