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SN201208254 半自动解理机(旧)
发布时间:2015-07-30
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半自动解理机(旧)
编号:LSD-100(SN201208254)
工艺类别:封装
所属单位: 加工平台
管理员:王洋洋
状态: 正常
用途
用于对GaAs、InP等样品的解理。(样品必须经过减薄至100μm左右)
主要技术指标
样品切深≤30μm,分辨率0.5μm,切割道<30μm。
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