SN201112082 轨道式涂布机SVG(旧)

轨道式涂布机SVG(旧)

编号:SVG8126SN201112082

工艺类别:涂胶

所属单位: 加工平台

管理员:王德稳

状态: 正常

价格:240/小时

单位预约时间:2(单位:小时)

用途

通过自动皮带传动方式,进行25片一批次的自动涂胶工艺,具备旋涂去边和烘烤功能。主要特点:1.自动取片2.根据用户要求设定不同阶梯的旋转速度3.可以设定去边功能4.热板的温控精确。

主要技术指标

晶圆尺寸:2inch

最样品厚度:150-1000um

旋涂均匀性:3000转以上整片均匀性的3%

热板温度区间:23-250

 

 


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