轨道式涂布机SVG（旧）

编号： SVG8126（SN201112082）

工艺类别：涂胶

所属单位： 加工平台

管理员： 王德稳

状态： 正常

价格： 240元/小时

单位预约时间： 2(单位:小时)

用途

通过自动皮带传动方式，进行25片一批次的自动涂胶工艺，具备旋涂去边和烘烤功能。主要特点： 1.自动取片2.根据用户要求设定不同阶梯的旋转速度3.可以设定去边功能 4.热板的温控精确。

主要技术指标

晶圆尺寸：2inch

最样品厚度：150-1000um

旋涂均匀性:3000转以上整片均匀性的3%

热板温度区间：23-250度