SN200808040 芯片特性测试仪

 

芯片特性测试仪

编号:WPOH-105AS SN200808040

工艺类别: 测试

所属单位: 加工平台

管理员: 黄宏娟

状态: 正常

用途

用于自动点测经扩晶LED芯片的光电特性及波长,并可根据测定结果进行各项资料分类。

主要技术指标

波长测量范围: 300-800 nm

Wafer平台5inch,可转动+-15度,芯片尺度250μm-1000μm(方形或圆形)

平台速度(X/Y0.2-150mm/s

平台精度0.015mm/100mm

平台活动范围(X/Y+-62.5mm(从测试中心算起)(也是自动扫描范围)

Z轴线性移动范围0-5mm

探针Z向尺度1μm

Z轴稳定度+-10μm

 

 


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