SN200902057 高纯气体汇流仪

高纯气体汇流仪

编号: GT2SN200902057

所属单位: 加工平台

状态: 正常

 

用途

气体汇流仪保证通过控制分子量级材料生长的、高精度控制的设备,如:等离子体刻蚀机和PECVD(等离子体增强化学气相沉积机)设备中所用各种高纯特殊气体在输送过程中的高纯净度,以及气体流量和压力的精确测量和控制,并且在确保气体在整个输送气体中的不间断性,以及对输送过程的安全性。

 

 

 

 


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