党委书记 邓强
所长、党委副书记 王强斌
副所长 李清文
纪委书记 袁艳明
副所长 徐科
副所长 张剑
纳米器件研究部
先进材料研究部
纳米生物医学研究部
创新实验室
轻量化实验室
纳米加工平台
测试分析平台
纳米生化平台
纳米真空互联实验平台
智能安全技术研究与应用中心
院 士
杰出青年
研 究 员
项目研究员
副研究员
客座研究员
苏州纳米所亮相纳博会纳米科普展
2020全国科普日苏州主场纳米所科普大咖主题演讲
中科院苏州纳米所助力西交苏州附中“纳米科学创新人才培养”
"半语-益言"系列直播讲座
SN200902057 高纯气体汇流仪
发布时间:2015-07-29
发布时间:2015-07-29 | 文章来源: | 【 大 中 小 】 | 【打印】 【关闭】
高纯气体汇流仪
编号:GT2(SN200902057)
所属单位: 加工平台
状态: 正常
用途
气体汇流仪保证通过控制分子量级材料生长的、高精度控制的设备,如:等离子体刻蚀机和PECVD(等离子体增强化学气相沉积机)设备中所用各种高纯特殊气体在输送过程中的高纯净度,以及气体流量和压力的精确测量和控制,并且在确保气体在整个输送气体中的不间断性,以及对输送过程的安全性。
附件下载: