紫外光刻机（旧）

编号：MJB3（SN201208224）

工艺类别： 光刻

所属单位： 加工平台

管理员： 姜春宇

状态： 正常

价格：200/30分钟

单位预约时间：30(单位:分钟)

用途

365nm宽带光源，接触式光刻。主要用于线条>2μm的2英寸样品或<2inch样品光刻。

主要技术指标

样品大小：1、标准片（φ2英寸）; 2、小片（<φ2英寸); 3、晶圆厚度＜3mm。分辨率：>2μm。对准精度：5μm。

加工平台布局位置