台阶仪（旧）

编号：dektak 8（SN201208252）

工艺类别： 镀膜

所属单位： 加工平台

管理员： 程伟

状态： 正常

价格：32/15分钟

单位预约时间：15(单位:分钟)

用途

能测量台阶高度和表面纹理，还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。主要特点：1.台阶高度测量重复性高2.是功能最为强大的探针轮廓仪，可最大限度的满足各种应用需要3.简单易用4.作为一款桌面型轮廓仪，扫描范围可达200mm

主要技术指标

台阶高度重复性: 7.5?,1σ在1um标准台阶上最大晶圆尺寸：200mm最大样品厚度：25.4mm（1 in.)每次扫描数据点：最多可达60，000数据点扫描长度范围：标配最大50mm垂直范围：标配262um；可选1mm最大垂直分辨率：1? (6.55微米垂直范围下）