电子束蒸发（Cooke）

编号：COOKE

工艺类别： 镀膜

所属单位： 加工平台

管理员： 周丽萍

状态： 正常

价格：225/30分钟

单位预约时间：30(单位:分钟)

用途

主要用于蒸发Ti、Al、Ni、Cr等金属薄膜，蒸发速率0.1A/s-20A/s可调，最大蒸发厚度可至2000nm。一次可蒸镀两寸片38片，四寸片和六寸片5片，向下尺寸兼容，薄膜不均匀性≤±5%单次工艺2小时起约，请提前10分钟到场准备样品

主要技术指标

"蒸发速率0.1A/s-20A/s，预蒸发功率10%-45%，蒸发功率0-60%，蒸发厚度：普通金属（Ni、Al、Ti）5nm-2000nm；工作真空：5E-6Torr，温度：常温（暂时）