品名

研磨机

型号

36BAW

制造商

创技（南京）电子机械有限公司

主要功能

1.2~6inch 晶片粗研磨

2.适用材料：GaN

技术指标

1.陶瓷载物盘直径：360mm

2. 2英寸晶片总厚度偏差TTV≤5μm

3. 2英寸晶片的材料去除率≥0.8μm /min

4. 4英寸晶片总厚度偏差TTV≤10μm

5. 4英寸晶片的材料去除率≥0.2μm /min

设备现状

正常对外开放预约

收费标准

请提前与设备管理员联系，预约时间，确认实验方案与价格。

管理员

王明月

联系方式

13584805775

设备照片