品名

半导体晶片电阻率测试仪

型号

LEI-1510EC

制造商

LEI

主要功能

测量晶圆方块电阻、电阻率

技术指标

1.方块电阻高量程：15 Ω/□～3000 Ω/□

2.方块电阻低量程：0.16 Ω/□～15 Ω/□

3.方块电阻超低量程: 0.032 Ω/□～1.6 Ω/□

4.测量探头直径为14mm

5.可测量2至8英寸晶圆,可测量300点

设备现状

正常对外开放预约

收费标准

请提前与设备管理员联系，预约时间，确认实验方案与价格。

管理员

田飞飞

联系方式

62872594

设备照片