品名

横截面离子束抛光仪

型号

Iliom 693

制造商

美国GATAN公司

主要功能

用于制备扫描电镜无损截面样品

技术指标

离子枪角度：+10°到-10°，每只离子枪可独立调节。

离子枪束能量：0.1 keV到6 keV。

抛光速率：硅，每小时＞140μm，6kV。

抛光区域：0.5到1.5mm，通过离子束可调节。

设备现状

正常

收费标准

100元/小时

管理员

张燚 高晓冬

联系方式

0512-62872632

设备照片